作者单位
摘要
西安工业大学 光电工程学院, 陕西 西安 710021
为了实现凹非球面的快速、高精度与通用化检测,文中提出了一种将非球面当做球面,直接采用干涉仪检测的非零位干涉检测方法,并结合相应的数据处理方法,获得非球面的面形误差检测结果。首先,介绍了该方法的检测原理,建立了回程误差、调整误差的计算与去除模型,研究了面形误差的数据处理方法。然后,以两个不同非球面度的凹非球面为例,对其回程误差和调整误差进行了仿真计算,验证了该方法的有效性。最后,搭建了凹非球面的非零位检测实验装置,成功测量得到其面形误差。通过与自准直零位检测法或LUPHOScan轮廓测量法检测结果对比发现,两种方法测量得到的面形分布和评价指标具有高度一致性,验证了该检测方法的正确性。该检测方法在保证高精度测量的同时兼备一定的通用性与便捷性,为凹非球面的通用化检测提供了一种有效手段。
非球面面形测量 非零位干涉检测 回程误差 数据处理 aspheric surface shape measurement non-null interferometry retrace error data processing 
中国光学
2024, 17(1): 140
作者单位
摘要
西安工业大学 光电工程学院 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室, 西安 710021
为研究具有更好材料稳定性的半透明薄膜太阳能电池,本文采用直流磁控溅射技术沉积氧化亚铜(Cu2O)薄膜和氧化锌(ZnO)薄膜,制备了Cu2O/ZnO异质结.使用扫描电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪、薄膜测定系统和太阳能模拟器,研究在不同氩/氧气体流量比的条件下制备的Cu2O层对异质结的材料特性、光学特性及光电特性的影响.研究结果表明:在一定氩/氧气体流量比范围内制备的Cu2O/ZnO异质结,在AM1.5的标准模拟太阳光的照射下具有一定的光电转换能力,可作为半透明太阳能电池的换能单元.
半透明太阳能电池 异质结 磁控溅射 氧化锌薄膜 氧化铜薄膜 Semi-transparent solar cell Heterojunction Magnetron sputtering Zinc oxide thin film Cuprous oxide thin film 
光子学报
2020, 49(8): 0831003
陈瑜 1,2潘永强 1,2,*刘丙才 1,2田爱玲 1,2李靓 1,2
作者单位
摘要
1 西安工业大学 光电工程学院,西安 710021
2 教育部薄膜与光学制造技术重点实验室, 西安 710021
在窗口傅里叶变换(WFT)相位提取技术中,抑制线性相位误差和背景光强干扰对窗口尺寸的需求条件存在矛盾,无法对二者进行同时抑制,故提出一种通过改变输入信号频谱成分的线性相位 误差抑制技术,该技术利用傅里叶空频分析法将输入信号进行背景光强滤除并保留基频成分,使测量结果不受背景光强影响;考虑到线性相位误差同样受到窗口尺寸选取的影响,通过仿真分析确定 最优窗口尺寸判定依据;采用该方法重构抛物面形并以相移干涉技术所获面形结果为基准进行对比分析,结果表明,本文提出方法可实现线性相位误差与背景光强干扰的综合抑制效果并提高了传统 WFT相位提取精度。
相位提取 窗口傅里叶变换 线性相位误差 背景光强 干涉条纹 phase extraction Window Fourier Transform(WFT) linear phase error backgrounnd fringe pattern 
光学 精密工程
2020, 28(6): 1314
作者单位
摘要
1 西安工业大学 光电工程学院,陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安 710021
2 中国兵器科学院宁波分院,浙江 宁波 310022
为提高数字全息显微系统的重建效果,将凸集投影算法应用于数字全息中,以实现数字全息的超分辨重建.首先,在数字全息和凸集投影法的理论基础上,搭建透射式离轴数字全息显微实验光路.然后,利用分辨率板验证凸集投影法在全息图超分辨率复原中的有效性.最后,通过微透镜阵列验证该方法在三维重建中的可行性.将参考全息图的三维重建结果,分别与低分辨率全息图和超分辨率复原全息图的重建结果进行残差估计.结果表明,后者残差的峰谷值和均方根值相比前者分别降低了36.88%和70.66%,证明该方法能够实现数字全息的超分辨重建.
光学测量 数字全息 凸集投影 角谱法 超分辨技术 Optical testing Digital holography Project onto convex set Angular spectrum Super resolution algorithm 
光子学报
2019, 48(10): 1009001
Author Affiliations
Abstract
College of Optoelectronic Engineering, Xi’an Technological University, Xi’an 710021, China
We theoretically study the evolution of dark solitons in the biased photorefractive-photovoltaic crystal by using beam propagation method (BPM). We find that when the absolute value of the extra bias field is less than the photovoltaic field, the dark screening-photovoltaic (SP) solitons can be observed. The initial width of the dark notch at the entrance face of the crystal is a key parameter for generating an sequence of dark coherent solitons. If the initial width of the dark notch is small, only a fundamental soliton or Y-junction soliton pair is generated. When the initial width of the dark notch is increased, the dark notch tends to split into an odd (or even) number of multiple dark solitons, which re-alizes a progressive transition from the low-order solitons to a sequence of higher-order solitons.
光电子快报(英文版)
2018, 14(5): 367
高飞 1,*李晋惠 1,2田爱玲 3刘丙才 3[ ... ]岳鑫 3
作者单位
摘要
1 西安工业大学 a理学院
2 b计算机科学与工程学院
3 西安工业大学 c光电工程学院,西安 710021
基于Zernike多项式拟合三平面互检法,在理论上对光轴偏离、旋转角度以及有效面积对不同面型精度平面的测量误差进行了分析,并分别进行了实验验证.研究结果表明,旋转角度误差和有效面积对测量影响不敏感,可适当降低标定旋转角度成本;而光轴偏离对测量精度影响明显,在高精度面型绝对检测中应对其进行严格校准.
光学检测 绝对检测 干涉法 Zernike多项式 测量误差 计算仿真 Optical testing Absolute test Interferotry Zernike polynomials Measurement error Computer simulation 
光子学报
2017, 46(9): 0912008
作者单位
摘要
1 西安工业大学 陕西省薄膜与检测技术重点实验室, 西安 710021
2 中国兵器科学研究院宁波分院, 浙江 宁波 315103
基于菲索干涉的变频相移技术, 提出一种分步相移标定方法.生成n组t步相移干涉图,每步相移为π/2;将每步的n组干涉图分别与初始干涉图做相乘和傅里叶变换运算, 在此基础上构建每步相移的误差函数;通过求取误差函数极值点来实现对每步相移值的准确标定.结果表明, 该标定方法的标定准确度优于传统标定方法, 且标定准确度提高了2~3个数量级.该方法不仅避免了传统相移标定中存在的随机误差, 也彻底消除了累积误差.
干涉测量 变频相移 相移标定 菲索干涉 傅里叶变换 Interferometry Wavelength tuning phase-shifting Phase-shifting calibration Fizeau interferometry Fourier transform 
光子学报
2016, 45(7): 070712001
作者单位
摘要
西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室, 西安 710032
为了使相移式横向剪切干涉法能够广泛应用于大口径非球面的在线检测, 通过计算机仿真研究横向剪切干涉测量的非球面面形, 实现其二维波面的重建.分别对仿真中获得的被测非球面在x方向和y方向的两个差分波前中剪切量大小和采样点个数的选取进行分析, 利用最小二乘法求取波差值, 采用Zernike 多项式拟合法进行波前重建, 在保证高准确度测量情况下, 对一被测抛物面面形进行计算机仿真实验, 结果表明: 最适合的剪切量是其被测口径的十分之一大小, 此时只需要对其选取49个离散数据采样点, 采用泽尼克多项式拟合就可得到二维波面的形貌.该结论为相移式横向剪切干涉的二维波前重建提供了理论指导, 同时, 也为大口径非球面在线测量的实际应用提供了技术支撑.
光学检测 横向剪切干涉 最小二乘法 Zernike拟合 剪切量 大口径抛物面 仿真实验 Optical measurement Lateral shearing interferometry Least square method Zernike fitting Shearing displacement Oarge parabolic mirror Simulation experiment 
光子学报
2015, 44(3): 0312002
高芬 1,2,3,*蒋庄德 1,2李兵 1,2田爱玲 3
作者单位
摘要
1 西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室, 西安 710049
2 西安交通大学 机械工程学院, 西安 710049
3 西安工业大学 光电工程学院, 西安 710032
为满足移相干涉测量中纳米甚至亚纳米高准确度检测要求,需采用对误差敏感度更低的相移算法.基于扩展平均技术,在传统4步和3步算法的基础上分别推导了A类和5~13步相移算法公式,以5、6、7和13步算法为例,通过仿真及数值计算,比较了两类算法对相移器移相误差及CCD非线性误差的抑制特性.结果表明: 同类算法下,步数越多的算法,对这两项误差的抑制效果越好,但达到一定步数后对测量的影响可以忽略; 算法具有增强的移相误差抑制能力,在相移不准情况下可优先选用算法; A类算法对CCD非线性误差几乎完全免疫,而算法受一定CCD非线性误差影响,但对大多数高准确度CCD来说,其在常规检测中的影响可以忽略; 由相移噪音引入的随机性测量误差的极大值要略大于相移噪音本身,且不同算法对相移噪音的抑制效果差别不大,因此相移噪音对测量的影响不可忽略.文中给出了不同误差影响下各算法引入波面检测误差的比较数据,研究结果可为实际干涉测量中最适相移算法的使用和选用提供理论指导及数据参考.
移相干涉测量 扩展平均技术 相移算法 波面检测误差 误差分析 Phase-shifting interferometry Extended averaging technique Phase-shifting algorithms Wavefront measurement error Error analysis 
光子学报
2014, 43(4): 0426001
作者单位
摘要
1 西安工业大学陕西省薄膜与光学检测技术重点实验室,陕西 西安 710032
2 Optical Bioimaging Lab, National University of Singapore, Singapore 117574
为了提高大口径光学元件子孔径拼接测量的检测精度,提出一种平面绝对测量技术,修正子孔径拼接过程中产生的系统误差。利用改进的三面互检法获得参考平面的面形数据,采用这些测量数据构建基于Zernike多项式的参考面面形误差修正波面,在拼接过程中运用误差修正波面对获得的子孔径测量数据进行实时修正,并与全口径直接测量结果进行对比,结果PV(peak value,PV,峰谷值)误差从0.072 1 λ减少到0.028 6 λ。结果表明该方法有效减少了参考平面系统误差对拼接测量精度的影响,提高了大口径光学元件的检测精度。
光学测量 子孔径拼接 平面绝对检验 三平面互检 optical measurement sub-aperture stitching plane absolute test three-flat test 
应用光学
2013, 34(4): 639

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